| Author: |
|
Dietrich Widmann
|
| Title: |
 |
Technologie hochintegrierter Schaltungen (Halbleiter-Elektronik) (German Edition) |
| Moochable copies: |
|
No copies available |
| Topics: |
|
| Published in: |
|
German (Germany) |
| Binding: |
|
Hardcover |
| Pages: |
|
366 |
| Date: |
|
1996-05-03 |
| ISBN: |
|
3540593578 |
| Publisher: |
|
Springer |
| Weight: |
|
1.48 pounds |
| Size: |
|
0.0 x 0.0 x 0.0 inches |
| Edition: |
|
2. Aufl. 1996 |
|
|
|
| Description: |
|
Product Description
Dieses Buch beschreibt kompetent und umfassend die aktuellen Technologien zur Herstellung von hochintegrierten Schaltungen bis zur Prozeßintegration für den 256-Mbit-Speicher. Es wendet sich damit an fortgeschrittene Studenten sowie Ingenieure und Naturwissenschaftler in Forschung, Entwicklung und Fertigung. Die gewaltigen Entwicklungen in der Prozeßtechnologie der letzten Jahre finden sich in dieser Neuauflage wieder: Planarisierungstechniken, neue Materialien wie Refraktärmetalle, modernste Prozeßarchitekturen für CMOS-, Bipolar-, BICMOS- und Smart-Power-Technologien. Hinzu kommen wesentlich verbesserte Einzelprozesse in Schichttechnik, Lithographie, Ätztechnik und Dotiertechnik mit selbstjustierenden Verfahren. Die Autoren, selbst aktiv an diesen Fortschritten beteiligt, geben Informationen aus erster Hand.
|
| URL: |
|
http://bookmooch.com/3540593578 |
|
|
